BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術的優勢融合在一個單個、緊湊和經濟的可以測量 5×10-10 到 1500 毫巴（3.75×10-10 到 1125 托）的過程壓力和基準壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設計旨在替代三個傳感器（熱離子、熱量增強型皮拉尼和真空開關），從而節省成本和寶貴的工具空間。
益處

BCG450 可節省成本和工具空間，降低真空測量安裝與設置的復雜性

10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制，能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制

皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀

高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預

大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定

易于更換的傳感元件與板載校準數據確保再現性

備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口

RoHS 合規

典型應用

半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量

工業鍍膜

低真空和超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制

新聞

現有全新EtherCAT數字接口供應！
類型 BCG450

測量范圍     5×10-10 … 1500

精度

10-8 … 50 毫巴  % of reading    ±15

50 … 950 毫巴   % of reading    ±5

950 … 1050 毫巴 % of reading    ±2.5

可重復性

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

熱離子發射   mbar    2×10-2 (high)

（可選高/低，通過 RS232 / 現場總線）  mbar    8×10-3 (low)

除氣 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓力，zui大   bar (absolute)  5

溫度

運行（環境） °C 0 … +50

貯存 °C -20 … +70

在法蘭處烘烤 °C 80

移除烘烤電子設備 °C 150

電源電壓     20 … 28

輸出信號模擬

輸出信號 V   0 … 10.3

測量范圍輸出 V   0.774 … 10.3

電壓與壓強之間的關系 volts per decade    0.75

錯誤信號 V   0.3 / 0.5

zui小負載 k?  10

接口（數字）(2)      RS232C

連接器      D-Sub, 15-pin, male

電纜長度，zui大 (3)   m (ft.) 100 (330)

暴露于真空的材料     Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass

內部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   285 / 550

保護等級     IP30

DeviceNet™ 

協議    DeviceNet™, group 2 slave only

數據率開關   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

電纜長度 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

電纜長度 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

電纜長度 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

網絡規模     up to 64 nodes per segment

數字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

可視通信指示器       LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

技術規格     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設備類型     ''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊       polling only

設定點繼電器： 設定點數量     2

設定點繼電器： 范圍  mbar    1×10-9 … 1400

設定點繼電器： 繼電器觸點     n.o., potential free

設定點繼電器： 滯后  % of reading    10

設定點繼電器： 觸點額定值     60

設定點繼電器： 連接器     D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 電源電壓      11 … 25

真空計電源電壓       20 … 28

DeviceNet™ 連接器        Microstyle, 5-pin

BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器        D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP

波特率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設定點繼電器： 設定點數量     2

設定點繼電器： 范圍  mbar    1×10-9 … 1400

設定點繼電器： 繼電器觸點     n.o., potential free

設定點繼電器： 滯后  % of reading    10

設定點繼電器： 觸點額定值     60

Profibus DP 連接器       D-Sub, 9-pin, female

BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器        D-Sub, 15-pin, male

以太網 

以太網協議       protocol specialized for EtherCAT

通訊標準     ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

節點地址     Explicit Device Identification

物理層      100BASE-Tx (IEEE 802.3)

以太網數字功能       read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information

過程數據     Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

(CoE)      SDO requests, responses and information

以太網連接件     RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

電纜    shielded Ethernet CAT5e or higher

電纜長度 m (ft.) ≤100 (330)

(1) 除氣期間降低精度

(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現場總線

(3) 適用于 RS232C 運行 <30m
353-550 BCG450 規管

353-561 BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle

353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-552 BCG450 規管

353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R

353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.

353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-511 BPG400 24V電源

353-512 Baffle for BPG400

211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
354-492 BCG450 傳感器

354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.