真空計INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。
| 更新時間:2024-01-18 | 廠商性質:代理商 |
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BPG400 大氣壓至超高真空真空計
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇BPG400真空計，價格經濟，且可重復測量基準壓力。
益處
測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染
使用壽命長的氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
RoHS 合規
低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
典型應用
對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業鍍膜
低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制
類型 BPG400
測量范圍（空氣、O2、CO、N2） 5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重復性
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力，zui大 bar (absolute) 2
溫度
運行（環境） °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤，有延伸件 °C 150
在法蘭處烘烤，無延伸件 °C 80
移除烘烤電子設備 °C 150
電源電壓 +20 … +28
輸出信號模擬
輸出信號 V 0 … +10
測量范圍 V +0.774 … +10
電壓與壓強 volts per decade 0.75
錯誤信號 V 0.3 / 0.5
zui小負載電阻 k? 10
接口（數字）(2) RS232C
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
電纜長度，zui大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護等級 IP30
Profibus DP
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器： 設定點數量 2
設定點繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設定點繼電器： 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器： 滯后 % of reading 10
設定點繼電器： 觸點額定值 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
協議 DeviceNet™, group 2 slave only
數據率開關 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術規格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設定點繼電器： 設定點數量 2
設定點繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設定點繼電器： 繼電器觸點 n.o., potential free
設定點繼電器： 滯后 % of reading 10
設定點繼電器： 觸點額定值 60
DeviceNet™ 電源電壓 +11 … +25
真空計電源電壓 +20 … +28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BPG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器 D-Sub, 15-pin, male
1) 除氣期間降低精度
2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允許使用現場總線
3) 適用于 RS232C 運行 <30m
353-500 BPG400 規管
353-500-11 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0 BPG400規管
353-502-A BPG400規管
354-498 Spare electronic BPG400 without Display
354-499 Spare electronic BPG400 with Display
353-501 BPG400 規管
353-502 BPG400 規管
353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505 復合真空規
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
